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bsp;       当然,认为通往1纳米制程的道路一帆风顺未免过于天真。开发人员面临三大挑战。                    首先是光学材料。在13.5纳米厚度下,存在

nbsp;        第二个问题是气体射流的稳定性。气体团簇必须大小一致,并以与激光脉冲频率相匹配的频率稳定流动。气体密度的任何波动都会导致光源振动,进而造成暴露接触面的模糊。得益于带有主动反馈的压电喷嘴的应用,这方面已经取得了进展。         &n

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发布时间:03:19:36


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